1、臭氧发生器按其原理可分为：1.电晕放电式臭氧发生器；2.电解式臭氧发生器；3.紫外照射式臭氧发生器；4.核辐射式臭氧发生器。应用最广泛的是电晕放电式臭氧发生器。它由臭氧管，臭氧电源，气源装置及电控装置组成。
2、电晕放电式臭氧发生器按制造材料（通常指介电材料）可以分为：玻璃臭氧发生器，陶瓷臭氧发生器，搪瓷臭氧发生器，云母臭氧发生器等。应用最广泛的材料是玻璃，玻璃介电体适合大型及中小型臭氧发生器。但玻璃介电体机械强度差现已陆续被其他材料替代。搪瓷介电体在大型臭氧发生器用应较多，它的特点是介质于电极于一体结构紧凑，机械强度高，臭氧产率大等特点，是高档臭氧设备中较为优良的材料。
3、臭氧发生器按运行频率可分为：1.工频臭氧发生器（工作频率50-60Hz)；2.中频臭氧发生器（工作频率600-800Hz)；3.高频臭氧发生器（1KHz-20KHZ）。高频臭氧发生器运行效率高节约电能，现已陆续取代工频和中频高能耗臭氧发生器。
4、臭氧发生器按臭氧发生量通常可分为：小型臭氧发生器（臭氧产量100g/h以下），中型臭氧发生器（臭氧产量100g/h-1000g/h)，大型臭氧发生器（臭氧产量1Kg/h以上）。
5、臭氧发生器按冷却方式可分为：水冷式臭氧发生器，风冷式臭氧发生器，风水双冷式臭氧发生器，油冷式臭氧发生器，油水双极液冷式臭氧发生器。小型低浓度臭氧发生器通常采用风冷；大中型臭氧发生器基本采用水冷；臭氧浓度高的发生器采用双极冷却。
6、臭氧发生器按结构形式可分为：管式臭氧发生器，板式臭氧发生器，立式臭氧发生器，卧式臭氧发生器。小型臭氧发生器通常为管式或板式，中型臭氧发生器大多采用多管并联，大型臭氧发生器基本以卧式为主（内部由若干只电极组成）。
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